測定したシリコンウエハは単結晶！IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的シンプルな結果になりました
EBSDで解析したシリコンウエハの事例をご紹介いたします。
ウエハから小片を切り出し、中央50×50μmの領域にてIPFマップを取得。
測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないこと
から単結晶であることが確認できます。
測定したシリコンウエハは単結晶であるため、IPFマップ、極点図、
逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。
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基本情報【EBSDによる解析例】シリコンウエハ
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