超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300シリーズ』日酸TANAKA

一次側高圧用中流量機種！一次減圧設備に広くご使用いただいております

『S-TORRV2300シリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を
頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。

接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、
非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、
出荷検査を全数に実施しています。

腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」が
ございます。お問い合わせください。

【特長】
■一次側高圧用中流量機種
■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには
　メタルシール構造を採用
■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■シリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に広く使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300シリーズ』

【その他の特長】
■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発
■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している
■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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取扱企業超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300シリーズ』

日酸TANAKA株式会社産業機器事業部

【営業品目】 ○機器・溶接材料　レーザ加工機、ＮＣガス・プラズマ切断機、ＣＡＤ/ＣＡＭシステム、　溶接機器、溶接材料、産業用　ロボット、溶接溶断関係機器、容器、　高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、　半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、　理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス　酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、　標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、　ＬＮＧ、サンアーク、サンレーザ、ＬＰガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工　高精度分析用ガス供給設備