ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』日酸TANAKA

接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調整器

『S-TORRV1900シリーズ』は、内部リークを抑えるため、デカボランの
生成しづらい好適な中間圧に設計されたジボラン専用圧力調整器です。

本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール
構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して
お使いいただけます。

S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている
TORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。

【特長】
■ジボラン専用二段減圧式機種
■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している
■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■内部リークを抑えるため、デカボランの生成しづらい好適な中間圧に設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』

【性能】
■入口側最高使用圧：15MPa
■出口側最高使用圧：0.6MPa
■最大流量：30L/min(nor)(P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS）
■使用温度：-5～40℃
■重量：1.2kg(2ポート)、1.6kg(3ポート)
■内蔵フィルター濾過度：20μm
■接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm(オプション：Ra0.1μm）
■出入口ポート口径：1/4"
■外部リーク量：1.3×10^-11Pa・m3/sec以下

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

取扱企業ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』

日酸TANAKA株式会社産業機器事業部

【営業品目】 ○機器・溶接材料　レーザ加工機、ＮＣガス・プラズマ切断機、ＣＡＤ/ＣＡＭシステム、　溶接機器、溶接材料、産業用　ロボット、溶接溶断関係機器、容器、　高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、　半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、　理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス　酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、　標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、　ＬＮＧ、サンアーク、サンレーザ、ＬＰガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工　高精度分析用ガス供給設備