日酸TANAKA株式会社 高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵!減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整器

『TORR-30シリーズ』は、一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや
室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただける
高純度ガス用圧力調整器です。

電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の
クリーンルームで行っています。

TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用
圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。

【特長】
■一次側低圧用標準機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』

【性能】
■入口側最高使用圧:5MPa
■出口側最高使用圧:1.0MPa
■最大流量:300L/min(nor)(P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS)
■使用温度:-5~40℃
■重量:1.1kg
■内蔵フィルター濾過度:20μm
■出入口ポート口径:1/4"
■外部リーク量
・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下(ネジ式接続)
・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下(溶接接続)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

カタログ高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』

取扱企業高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』

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日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

【営業品目】 ○機器・溶接材料  レーザ加工機、NCガス・プラズマ切断機、CAD/CAMシステム、  溶接機器、溶接材料、産業用 ロボット、溶接溶断関係機器、容器、  高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、  半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、  理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス  酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、  標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、  LNG、サンアーク、サンレーザ、LPガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工  高精度分析用ガス供給設備

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