高純度ガス用圧力調整器『TORR-50／80シリーズ』日酸TANAKA

電解研磨仕様品の製作も可能！"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器

『TORR-50／80シリーズ』は、Heリークテストを含め、出荷検査を全数に
実施している高純度ガス用圧力調整器です。

組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施。一次室の流路に
フィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。

一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする
配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。

【特長】
■一次側低圧用中流量機種
■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報高純度ガス用圧力調整器『TORR-50／80シリーズ』

【ラインアップ】
■TORR-50シリーズ
■TORR-80シリーズ

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用途／実績例	【用途】 ■一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、　流量を必要とする配管で使用する調整器など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

取扱企業高純度ガス用圧力調整器『TORR-50／80シリーズ』

日酸TANAKA株式会社産業機器事業部

【営業品目】 ○機器・溶接材料　レーザ加工機、ＮＣガス・プラズマ切断機、ＣＡＤ/ＣＡＭシステム、　溶接機器、溶接材料、産業用　ロボット、溶接溶断関係機器、容器、　高精度分析用機器、高精度分析用ガス供給設備・設計施工、　半導体プロセス用周辺機器、排ガス処理装置、その他各種産業機器、　理化学機器、総合エンジニアリング、保安管理サービスなど ○ガス　酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、ヘリウム、水素、半導体アセチレン、　標準ガス、混合ガス、純ガス、溶解アセチレン、エコン、エチレン、　ＬＮＧ、サンアーク、サンレーザ、ＬＰガス、笑気ガス、その他各種ガスなど ○設計・施工　高精度分析用ガス供給設備