露光光源照度分布は±5％以内！デスクトップ型と自立型のモデルをラインアップ
『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。
デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、
自立型でウェハサイズ8inの「BA200」をラインアップ。
また、アライメント精度はTop-sideにて±2μm、Bottom-sideにて±5μm
としております。
【仕様（抜粋）】
■ウェハサイズ：4in/6in/8in
■露光光源照度分布：±5％以内
■露光解像度
・ソフトコンタクト：L/S 3μm
・ハードコンタクト：L/S 1μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』
【その他の仕様】
■アライメント精度
・Top-side：±2μm
・Bottom-side：±5μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログマニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』
取扱企業マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』
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株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ 半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。 自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。
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