MRAM用ドライエッチング装置！
反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。
基本情報ドライエッチング装置
RIE、IBE、PECVDチャンバーを一つの真空制御装置に統合など各種カスタマイズも対応可能。
ご要望・お見積もりなど、お気軽にご相談ください。
| 価格帯 | 1000万円 ~ 5000万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業ドライエッチング装置
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