250℃以上、グレードによっては300℃近い耐熱性を有しています！
当社では、耐プラズマ・耐熱性に優れたOリング製品を取り扱っております。
プラズマ照射下における重量変化率、パーティクルの発生等が少ない
パーフロロエラストマーで、極めて優れた各種薬品性及び低ガス透過性も
有しています。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【ラインアップ】
■耐プラズマ、低パーティクル特化品
■プラズマ、ガス成膜各工程万能品
■SACVD、アッシングガス特化品
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報Oリング製品
【用途】
■半導体製造装置内各種Oリング
■化学プラント用各種シール
■各種食品・医薬品製造プラント用各種シール
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
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