つばさ真空理研株式会社 【強力な酸素バリア膜】透明で緻密なアモルファスアルミナ膜

可視光から紫外線領域まで透明、イオンアシスト蒸着によるアモルファスアルミナ膜は非常に緻密でバリア膜として使えます。

イオンアシスト蒸着によるアモルファスアルミナ膜が結晶の粒子が50nm以下で均一な微細構造の超緻密な酸素バリア膜です。可視光から紫外線領域まで透明ですので様々な用途に使うことができます。

基本情報【強力な酸素バリア膜】透明で緻密なアモルファスアルミナ膜

石英ガラス上に2μmのアモルファスアルミナ膜をイオンアシスト蒸着で成膜すると可視光から紫外線領域での透過率は90%、50nm以下の均一な微細構造をもった膜質が得られます。強力な酸素バリア膜として期待されます。

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用途/実績例 強力な酸素バリア膜として、加飾保護膜としてお使いいただけます。

カタログ【強力な酸素バリア膜】透明で緻密なアモルファスアルミナ膜

取扱企業【強力な酸素バリア膜】透明で緻密なアモルファスアルミナ膜

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つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

■イオンアシスト真空蒸着技術を駆使した成膜材料・成膜技術開発 ・酸化イットリウム膜 ・酸フッ化イットリウム膜 ■エッチング装置部品の耐プラズマ性保護膜の受託成膜サービス ■エッチング装置部品の耐プラズマ性保護膜の再生受託成膜サービス <横浜ラボラトリー> 〒231-0812 神奈川県横浜市中区錦町12 三菱重工横浜製作所 本牧第二工場104 (YOKOHAMA HARDTECH HUB内)

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