半導体、FPDや太陽電池製造装置に採用。クリーン向けイグチベアー井口機工製作所

LCDの後工程から始まった採用実績も、現在はさまざまな処理工程で採用され、位置決めステージのラインナップも増えています。

クリーンルーム向けイグチベアーは、特殊樹脂を加工することにより、様々な環境にて使用可能です。また、1点からでもユーザー様の用途に合わせた特型製品の製作を致します。

【特徴】
■200℃以上の高温環境や真空チャンバー内、各部ローダー、アンローダー、光の反射を嫌う光学測定機、マザーガラス切り出し部等、各種用途に応じた製品をラインナップ。

■ISB洗浄からクリーンパックまで使用環境に合わせた脱脂洗浄が可能。

■導電性や絶緑性など、用途に合わせた選定が可能。

■ガラス基板位置決め時の摩擦抵抗値が従来のピン方式の約１／１０に低減。

鉄の使用が難しい食品関係や病院等でも使用されています。
※発塵性比較や摩擦抵抗比較など、詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報半導体、FPDや太陽電池製造装置に採用。クリーン向けイグチベアー

カタログ記載内容
脱脂洗浄や梱包の種類
特殊樹脂
Φ6以上の製品から加工が可能な為、特型製品の製作もお任せください。

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用途／実績例	納入事例写真等も掲載しています。詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。