エアサーボアクティブ除振装置で対策！全周波数域に亘って良好な振動環境を構築することができました
液晶基板検査装置のアクティブ除振対策事例をご紹介します。
大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の振動環境を
事前調査したところ許容値を超えていました。
本測長機は光学的にパターンの線幅を観測するもので振動環境に対して
敏感なため、エアサーボアクティブ除振装置で対策を実施。
アクティブ除振対策後は、装置の振動許容値をクリアし、
また全周波数域に亘って良好な振動環境を構築することができました。
【事例概要】
■課題：大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の
振動環境を事前調査したところ許容値を超えていた
■対策：エアサーボアクティブ除振装置を設置
■効果：装置の振動許容値をクリアし、また全周波数域に亘って
良好な振動環境を構築することができた
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基本情報【事例】液晶基板検査装置のアクティブ除振対策
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