半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イットリア溶射をコートすることで耐プラズマエロージョンを付与
■溶射材料:イットリア
■溶射方法:プラズマ溶射
■施工方法:耐プラズマエロージョン
■施工実績:半導体製造装置関連
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基本情報【表面処理】耐プラズマエロージョン 半導体製造装置関連
■溶射材料:イットリア
■溶射方法:プラズマ溶射
■施工方法:耐プラズマエロージョン
■施工実績:半導体製造装置関連
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用途/実績例 | 半導体製造装置関連 ※詳細については、お気軽にお問い合わせください。 |
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