スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着
『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD）
システムです。
1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。
モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。
また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を
簡単交換できます。
【特長】
■操作性が高くコンパクト
■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下
■モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着
■1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニット
■6種類のターゲットが使用可
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』
【その他の特長】
■スキャニングRHEEDを標準装備
■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換
■完全コンピュータ制御
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログモバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』
取扱企業モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』
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