POWER Ecoシリーズ　高性能省エネルギー型クライオポンプキヤノンアネルバ

小型に加え中・大型もラインアップ！性能・省エネルギー両面で大きな優位性を持っています

POWER Ecoシリーズの当製品は、省エネルギーの観点から、消費電力や
冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型の
クライオポンプです。

冷凍機の高効率化やマルチウエーブ制御により、コンプレッサ1台で運転可能な
クライオポンプの台数が増えているため、1台あたりの消費電力や冷却水量が
格段に低減されています。

【特長】
■省エネ・省資源に有効［消費電力、冷却水量：15～70％低減可能］
■再生・起動時間の短縮［従来に比べて半分以下(当社比)］
■排気性能の向上［実質的なアルゴン排気容量を1.5～4倍と大幅に向上(当社比)］
■低振動［従来に比べて約1/10以下］

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報POWER Ecoシリーズ　高性能省エネルギー型クライオポンプ

【ラインアップ(一部)】
＜小型＞
■P-085C
■P-086C
＜中型・大型＞
■P-128C
■P-128CL
■P-160C

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用途／実績例	【用途】 ■半導体製造装置(スパッタ装置、イオン注入装置) ■電子部品製造装置 ■真空蒸着装置 ■真空炉、スペースチャンバ ■加速器 ■各種高真空装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。