アイソレイトバルブ『V-025SV』キヤノンアネルバ

特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止

『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。

カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる
ポンプ油の逆流防止に役立ちます。

駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の
自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。
(ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。)

【特長】
■ポンプ油の逆流防止
■圧縮空気およびその配管は不要
■駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用
■制御回路不要

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基本情報アイソレイトバルブ『V-025SV』

【仕様(抜粋)】
■使用圧力領域：大気圧～10^-2Pa程度
■リーク量：＜5×10^-7Pa・m3/sec
■コンダクタンス：420L/min(20℃空気に対する分子流領域での値)
■メンテナンスタイム：30,000サイクルまたは1年
■接続フランジ：NW25フランジ
■使用流体：大気またはガス(腐食性ガスを除く)
■使用環境：周囲温度10℃～40℃

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