キヤノンアネルバ株式会社測定球『ミニチュアゲージ』

最終更新日：2023-01-23 16:16:48.0
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取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行うことが可能

『ミニチュアゲージ』は、ガラス製ゲージ球の大きく
割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。

取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の
ゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。

到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの
圧力計測が1つのゲージで行なえます。

【ラインアップ】
■MG-2
■MG-2M
■MG-2I/NW16、25
■MG-2I/φ34ICF、φ70ICF
■MG-2F
■MG-2WF

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報測定球『ミニチュアゲージ』

【仕様(抜粋)】
■ボディー材質：SUS304
■感度：0.045Pa^-1
■測定球容積：約12cc
■デガス方式：グリッド通電

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