Ø200mm Ø300mm対応露光装置（マスクアライナ）
【主な特長】
・自社開発のミラー光学系ランプハウスを搭載、照射面内均一性、高照度を実現
・独自の同軸アライメント方式と高速画像処理技術を採用し、高精度なアライメントを実現。I R方式や裏面方式にも対応
・独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定
・マスクチェンジャを搭載。最大20枚のフォトマスクを自動交換
ロードポートを最大３基搭載可能
基本情報Ø300mm対応露光装置
【主な仕様】
・サイズ：Ø８～Ø１２”
・マスクサイズ：□１４”
※各種カスタマイズご相談承ります。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 詳細はお問い合わせください。 |
カタログØ300mm対応露光装置
取扱企業Ø300mm対応露光装置
Ø300mm対応露光装置へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
