MA-4301M(Max12)

全2ページ [575KB]
- お問い合わせ
- PDFダウンロード

Ø300mm対応露光装置

【主な特長】
・自社開発のミラー光学系ランプハウスを搭載、照射面内均一性、高照度を実現
・独自の同軸アライメント方式と高速画像処理技術を採用し、高精度なアライメントを実現。I R方式や裏面方式にも対応
・独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定
・マスクチェンジャを搭載。最大20枚のフォトマスクを自動交換
ロードポートを最大３基搭載可能（詳細を見る）

取扱会社 MA-4301M(Max12)

株式会社大日本科研

○精密機器の設計・製作・販売 ○理化学機器、計測器、光学機器の設計・製作・販売 ○各種露光装置の設計・製作・販売

公式サイト

MA-4301M(Max12)へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須	通常至急
ご要望必須	購入希望見積もり希望カタログ送付希望価格表送付希望連絡希望訪問希望その他あと文字入力できます。
目的必須	新規導入既存入れ替え試作検討情報収集
添付資料
お問い合わせ内容	あと文字入力できます。【ご利用上の注意】お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。