メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブです 3方弁、2連3方弁など多種多様なバリエーションに対応をしております。
【スタンダードタイプ】
耐久性：100万回（実績値400万回）
集積化ガス供給システムに対応（1.5inch、1.125inch）
【内部シールの性能アップ】
最適なシール構造と面粗度の向上によるパーティクルの発生を削減。
基本情報エアオペレイトバルブ「AGDシリーズ」
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | AGD |
| 用途／実績例 | 薬ガス供給設備向け機器 薬液供給設備向け機器 半導体製造工程（前工程） N2パージ関連機器 |
カタログエアオペレイトバルブ「AGDシリーズ」
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