部分吸着が威力を発揮!安定したワークの浮上により作業効率と品質の向上を実現
A社様は、レーザーアニールでワークに光をあてるためピント合わせが
難しく、ワークを浮かせたままレーザーをあてたいが、
従来チャックではしっかり固定できず困っていました。
そこで『エアロフィックス』を導入。
精密、安定した浮上が可能になりピント合わせがラクになりました。
また、細かい気孔による部分吸着が威力を発揮し、作業効率が大きく
向上しました。
【事例概要】
■導入先:A社様
■用途:浮上
■活用:中小型ディスプレイのエキシマレーザーアニール装置の浮上台として
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報【エアロフィックス導入事例】A社様
【事例概要】
■課題
・レーザーアニールではワークに光をあてるためピント合わせが難しい
・ワークを浮かせたままレーザーをあてたいが、従来チャックではしっかり固定できない
■解決
・精密、安定した浮上が可能になりピント合わせがラクになった
・細かい気孔による部分吸着が威力を発揮し、作業効率が大きく向上した
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途/実績例 | 【用途】 ■浮上器具:ワークの安定浮上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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