アトナープ株式会社 質量分析装置ASTON アプリケーションノートのご紹介

質量分析装置ASTONを用いた様々なアプリケーションをご紹介します。

質量分析装置ASTONを使ったアプリケーションノートをご紹介します。

<アプリケーションノート一覧>
1. ASTON Application Note_vol.1_チャンバークリーニング
2. ASTON Application Note_vol.3_エタノールの簡易成分分析
3. ASTON Application Note_vol.2_高感度終点検出_エッチングプロセスモニタ


※アプリケーションノートは、随時追加してまいります。

基本情報質量分析装置ASTON アプリケーションノートのご紹介

質量分析装置ASTONを使用した、様々なアプリケーションをご参照ください。

※アプリケーションノートは、随時追加してまいります。

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型番・ブランド名 ASTON Impact / ASTON Plasma
用途/実績例 ■プロセスコンディションモニタ(エッチング・成膜)
■エンドポイントモニタ(エッチング・クリーニング)
■チェンバ汚染モニタ
■ガス除害システムの残留ガス分析
■環境モニタ
■発酵プロセスモニタ
■天然ガス分析モニタ

取扱企業質量分析装置ASTON アプリケーションノートのご紹介

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アトナープ株式会社

■半導体・天然ガス・医薬品業界における機器の開発・製造・販売 ■医療業界におけるシステムの開発・提供

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