水処理装置【導入事例】半導体製造プロセス伸栄化学産業

ダイサ排水を再利用！装置のコンパクト化により設置スペースの制限が少なくなりました

某半導体製造装置メーカー様は、ダイシング工程からの排水リサイクル実現を
目標に掲げていました。

そこで当社は、排水の回収で環境負荷低減が実現できる、使い勝手のよい
水処理装置の開発を進め、精密ろ過技術を導入。

その結果、環境負荷やランニングコストを低減することができ、更に装置の
コンパクト化により、メンテナンスが簡素化されました。

【事例概要】
■背景
　・ダイシング工程からの排水リサイクル実現を目標に掲げている
■解決方法
　・ダイシング工程から排出される切削屑をMF膜で処理
　・回収水はリサイクルされ洗浄用水に再現
　・恒温水装置を組込み一体型でコンパクトにする

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基本情報水処理装置【導入事例】半導体製造プロセス

【効果】
■環境負荷もランニングコストも低減
■装置のコンパクト化により設置スペースの制限が少なくなり多面的応用が可能となった
■装置メンテナンスが簡素化され経済的メリットを与える

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取扱企業水処理装置【導入事例】半導体製造プロセス

伸栄化学産業株式会社

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