ASTON（質量分析装置）三弘エマテック

業界トップクラスの分析を実現するコンパクトサイズの質量分析装置

Impact-300
型式：AST3007
質量分離方式：四重極型
検出器：FC/SEM
真空排気系：ターボ分子ポンプ
質量範囲[u]：2～285
質量分解能[u]＊1(10%Valley)：0.8±0.2
検出限界[ppm]*2：0.1
重さ[kg]：13
サイズ LXWXH[mm]：299X218X331

Impact-300DP
型式：AST3006
質量分離方式：四重極型
検出器：FC/SEM
真空排気系：ターボ分子ポンプ/ダイアフラムポンプ
質量範囲[u]：2～285
質量分解能[u]＊1(10%Valley)：0.8±0.2
検出限界[ppm]*2：0.1
重さ[kg]：13
サイズ LXWXH[mm]：299X218X331

＊1　窒素換算値
＊2　窒素換算値(EI)

基本情報ASTON（質量分析装置）

マスレンジをm/z285まで拡張することにより、様々なアプリケーションに適用可能です。Internet-of-Things(IoT)対応のEthernet通信、フィラメント交換が容易な電子イオン化(EI)イオン源を搭載など、使いやすさ、メンテンス性を重視した構成となっています。

ドライポンプ*を含めた真空排気システムを内蔵しているため、外乱を受けにくく、安定した測定を行うことができます。（*ドライポンプはオプションです。）

価格情報	仕様、接続配管により変動定価：６００万円台～
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	Impact-300/300DP
用途／実績例	成膜・真空引き中の残留ガス問題：製品の品質不良が発生！真空排気時間（増）解決事例：加熱中の放出ガスを測定、チャンバーに吸蔵していた不純ガスの発見に活躍プロセス前のチャンバー内を測定、バッチ間の残留ガスにばらつきの発見に活躍排気中の残留ガスを測定、水分を検知、防着板交換　　　　　　　　　　　　　　　　　　、ベーキング実施、排気時間が短縮