独自の真空貼付方式！塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応
『ウエハーマウンター』は、ウエハー薄板化および薄基板工程流動を
サポートする製品です。
LD、LED、MMICなどの薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に
貼り合わせ、カセットに収納。
アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応します。
また、WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能です。
【特長】
■薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に貼り合わせ、カセットに収納
■アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応
■WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能
■塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応
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基本情報ウエハーマウンター
【ラインアップ】
■DMT-150
■DMT-200
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業ウエハーマウンター
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