HFC混合冷媒二元式超低温冷凍機『マック・クライオ』マック

真空ポンプとして開発！冷凍機吐出ガスの高温+50℃を利用して瞬時に+25℃のパネルに加熱が可能

『マック・クライオ』は、真空補助ポンプとして必需なHFC混合冷媒
二元式超低温冷凍機です。

一元式混合冷媒冷凍機システムを利用して-70℃の冷却器を内蔵。

独立した冷凍回路を持つ二元目の冷凍機は、一元式混合冷媒冷凍機の
冷却能力によって自由に起動が可能で、-125℃の超低温クライオパネルを
瞬時に発揮できます。（コールドトラップによる排気作用）

【特長】
■生産性を30％向上
■高品質の成膜を保証
■高温成膜装置に好適
■液体窒素トラップは不要

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基本情報HFC混合冷媒二元式超低温冷凍機『マック・クライオ』

【その他の特長】
■高速排気能力に改造
■真空到達時間を50％短縮させる
■残留ガスの水分分子量を60％まで減少させる
■二元式の独立した冷凍サイクルを構成している

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取扱企業HFC混合冷媒二元式超低温冷凍機『マック・クライオ』

株式会社マック

【製品案内】 ■ホットガスデフロスト装置「デフ・マック」 ■混合冷媒一元冷凍機「マック・ウルトラチラー」 ■混合冷媒二元冷凍機「マック・クライオ」 ■ブライン冷却・加熱装置「マック・冷温媒ユニット」 ■F4級保管用「マック・二元冷凍機」 ■半導体製造装置のテストシステム用「マック・ブラインチラー」 ■冷風発生装置「マック・エアーチラー」 ■食品・試薬・生体試料保存用「マック・ディープフリーザー」