株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,） FOUP洗浄装置

最終更新日：2023-01-16 01:19:02.0
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洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄効果が得られます。

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。

【特長】
■フープ等の複雑な形状に合わせて洗浄
■洗浄工程を自動化し、洗浄効果が安定

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基本情報FOUP洗浄装置

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用途／実績例	【用途】 ■各種カセット ■キャリア・ボックス洗浄