単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをラインアップ！
当社の取り扱う『薄膜作成コンポーネント』をご紹介します。
世界最小クラスのUHV対応「マグネトロンスパッタカソード」をはじめ、
ICF70よりマウント可能な「EBガン」やルツボ最小2cc～100cc対応の
「Kセル」などをラインアップ。
また、有機・金属材料対応の「マルチ抵抗加熱ソース」や「コニカル型
蒸着ソース」などもご用意しております。
【ラインアップ】
■マグネトロンスパッタカソード
■EBガン
■Kセル
■マルチ抵抗加熱ソース
■コニカル型蒸着ソース
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報薄膜作成コンポーネント
【マグネトロンスパッタカソード 特長】
■ヘッド直接ガス導入・水冷式構造
■φ1インチターゲット対応
■マッチングボックス内蔵の専用RF電源付き
■UHVに対応し、マグネット交換が可能
■お手持ちの真空チャンバーに容易に搭載可能
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ薄膜作成コンポーネント
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