1インチUHV対応スパッタカソード2源！ロードロック室は増設することが可能です！
当製品は、RFスパッタと抵抗加熱蒸着をあわせもつ製膜装置です。
ロードロック室増設可能。2インチ基板対応加熱・回転基盤ホルダーの
仕様です。
また、1インチUHV対応スパッタカソード2源で、3源切替式抵抗加熱蒸着と
なっております。
【特長】
■1インチUHV対応スパッタカソード2源
■3源切替式抵抗加熱蒸着
■2インチ基板対応加熱・回転基盤ホルダー
■ロードロック室増設可能
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