基板入射に対応する円弧型レール上に任意位置で固定可能！蒸着ポジションを調整できます
当製品は、アタッチメントフリーのKセルおよびコニカル型蒸着源を
備えた基板入射角可変型蒸着装置です。
任意の基板入射に対応する円弧型レール上に、任意位置で固定可能。
蒸着ポジションを調整することができます。
【Kセル】
■ルツボ容量：2cc
■加熱温度：Max1,200℃
■加熱制御電源
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報斜入射型蒸着装置
【蒸着源】
■ルツボ容量：2cc
■加熱温度：Max1,000℃
■加熱制御電源
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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