JFE商事エレクトロニクス株式会社 高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

基本情報高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

■基本仕様
・材質：Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等
・サイズ： 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ（2サイズ兼用可）
・スクラブ処理：高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等
・処理チャンバー数：2, 4チャンバー
・処理液：有機系剥離液 ・リンス液 , 純水
・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム
・ワーク搬送：ダブルアームスカラロボット
・スピンチャック：バキュームチャック
　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可
・装置寸法（WxDxH）：1,900x2,700x2,200mm（2チャンバー）
1,900x4,100x2,200mm（4チャンバー）
・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
・チャンバー内部の自動クリーニング機能
・ノズル各種仕様変更可能
・裏面回り込み防止機能

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カタログ高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

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  高田工業所製枚葉式ウエット処理装置TWPシリーズ

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取扱企業高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

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