JFE商事エレクトロニクス株式会社 高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
- 最終更新日:2022-10-06 15:44:55.0
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試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。
■特長
・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構
・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、
フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減
・枚葉化による品質・歩留り向上
(クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 )
・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構
・コンパクトサイズ化による省フットプリント実現
・背面メンテナンスフリー構造
・従来製品からの機能は踏襲
・1チャンバー専用装置
※量産用『TWPシリーズ』もございます。
https://www.ipros.jp/product/detail/2000745622
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
■基本仕様
・材質:Si , 化合物 ( GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN ) 等
・サイズ: 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ(2サイズ兼用可)
・洗浄チャンバー数:1
・スクラブ処理:高圧ジェット/ 2 流体ジェット/超音波シャワー等
・処理チャンバー数:2, 4チャンバー
・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水
・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム
・搬送ロボット:搬送ユニット
・スピンチャック:バキュームチャック
※オプションにてメカニカルチャック対応可
・装置寸法(WxDxH):1,200x1,500x2,000mm
・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
・チャンバー内部の自動クリーニング機能
・ノズル各種仕様変更可能
・裏面回り込み防止機能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | 試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』 |
用途/実績例 | パワーデバイス、高周波デバイス、光デバイス(LED等)、SAWデバイス、MEMS等 |
カタログ高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
取扱企業高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
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JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
■各種半導体製品の設計開発から生産までのトータルソリューションの提供および周辺機器・計測機器の販売・製品企画等 ■電子部品の実装・組立・検査等の装置および周辺機器・関連システムの販売・据付・保守等 ■産業用洗浄装置および多種洗浄剤の販売・保守等 ■工場の自動化・スマート化に貢献する製品やソリューション等の販売・保守等 【取扱実装関連製品(一例)】 ■表面実装機(SMTマウンター) ■マルチダイボンダー ■プラズマクリーナー ■試作用実装機 ■外観検査装置 SPI & AOI ■電子部品リール入出庫管理効率化システム ■レーザーマーカー&レーザーカッター ■X線電子部品リールカウンター ■基板カッティング装置 ■断面観察用超音波カッティング装置 ■目視支援装置 ■異形部品挿入機 & 半自動部品挿入機(インサーター) ■防湿塗布機 ■ディスペンサー ■ローダー & コンベヤー ■リフロー炉 ■ステンシル & ステンシルクリーナー ■リワークステーション ■自動はんだ付ロボット ■生産支援ソフトウェア など ※メーカー名はPDF資料をダウンロードください。
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