JFE商事エレクトロニクス株式会社高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

最終更新日：2022-10-06 14:59:29.0
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クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄装置！

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。
3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。

ウエハー（RCA）洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃えております。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

■装置構成
・薬液
APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水
・搬送状態
カセット／ドラムならびにキャリアレス（※搬送ロボットは上部／下部の2種類があります。）
・乾燥
スピンドライヤー／リンサードライヤー／IPAドライヤー（※IPAは内製品です。）

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型番・ブランド名	バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』
用途／実績例	ウエハー、精密部品、インゴット等

カタログ高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

高田工業所製バッチ式ウエハー自動洗浄装置TWSシリーズ

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取扱企業高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

■各種半導体製品の設計開発から生産までのトータルソリューションの提供および周辺機器・計測機器の販売・製品企画等 ■電子部品の実装・組立・検査等の装置および周辺機器・関連システムの販売・据付・保守等 ■産業用洗浄装置および多種洗浄剤の販売・保守等 ■工場の自動化・スマート化に貢献する製品やソリューション等の販売・保守等【取扱実装関連製品（一例）】 ■表面実装機（SMTマウンター） ■マルチダイボンダー ■プラズマクリーナー ■試作用実装機 ■外観検査装置 SPI & AOI ■電子部品リール入出庫管理効率化システム ■レーザーマーカー＆レーザーカッター ■X線電子部品リールカウンター ■基板カッティング装置 ■断面観察用超音波カッティング装置 ■目視支援装置 ■異形部品挿入機 & 半自動部品挿入機（インサーター） ■防湿塗布機 ■ディスペンサー ■ローダー & コンベヤー ■リフロー炉 ■ステンシル & ステンシルクリーナー ■リワークステーション ■自動はんだ付ロボット ■生産支援ソフトウェアなど ※メーカー名はPDF資料をダウンロードください。