JFE商事エレクトロニクス株式会社 高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』
- 最終更新日:2022-10-06 15:10:12.0
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高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送/制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。
3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。
ウエハーをIPA(イソプロピルアルコール)の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全システムが装備されています。
■特長
・ デバイス・ウエハー・ガラス・部品等、材質や形状を問わず高純度のIPAを用いたクリーン乾燥が可能
・ガス監視やN2パージ等の保安システム、万一の際の自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策
・材質や形状を問わず、高純度IPAを用いたクリーン乾燥が可能
・オールステンレスにより破損の危険性を排除
・ペーパーゾーン、ドライゾーンに分け、持ち出しIPA を削減
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』
■仕様
乾燥対象:6インチ 1カセット相当
シリコンウエハー、ガラス、部品等
槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層
アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法(WxDxH):1,050x1,200x2,000mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』 |
用途/実績例 | デバイス・ウエハー・ガラス・部品等 |
カタログ高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』
取扱企業高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』
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JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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