JFE商事エレクトロニクス株式会社 高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』
- 最終更新日：2022-10-06 15:57:55.0
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『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用される
ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。
ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。
■特長
・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構
→ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着がありません。
・有機溶剤を使用した薬液洗浄方式
・縦型回転機構による薬液高回収率の実現
・1,000mm×1,500x2,000mm のコンパクトサイズ
・UV 照射ユニット、テープ除去ユニット取付可 ( オプション）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』
■基本仕様
・材質：ダイシング用リングフレーム
・サイズ：標準6インチwafer用（各種サイズに対応）
・処理ステーション数：1チャンバー（増設可）
・スクラブ機能：高圧ジェット
・処理液：有機系剥離液・純水
・薬液供給：薬液の循環回収・濾過
・処理能力：60枚/時
・搬送ロボット：搬送ユニット
・スピンチャック：メカニカルチャック
・搬送ロボット：センタリング機能付スカラーロボット
・装置寸法（WxDxH）：1,000x1,500x2,000mm
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』 |
| 用途／実績例 | ダイシングフレーム等 |
カタログ高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』
取扱企業高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』
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JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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