光学式エンドポイントモニター【Verity社製】アールエムテック

超高性能エンドポイント検出システム検出困難だったイオンミリングプロセスに対応した光学式エンドポイント検出システム

エッチャー内のプロセスによる発光をリアルタイムに
モニタリングすることができます。

CCDセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、
UV領域の感度が高く、
検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。

さらに、真空フィードスルーオプションで
イオンミリングプロセスにも対応します。

Verity社製光学式エンドポイントモニターは
真空中のサンプル近傍にフレキシブルチューブによる測定受光部を設置。

エッチング/ミリングプロセス中の材料発光を計測することで、
膜厚と膜種の経時変化を取得します。

【特徴】
◼ 強力な終点決定能力
◼ 専用高機能 SpectraViewTM ソフトウェアを使用
◼ 終点検出、障害検知、プロセス診断が可能
◼ 200 – 800 または 900nm の波長範囲
◼ 更に広帯域の波長計測オプションあり
◼ RoHS 指令対応

関連リンク - https://www.rmtec.co.jp/products/measurement/optic…

基本情報光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

・基本情報
コントロールはUSB/Ethernetをデータ転送I/Fとしてサポートしており、
ネットワーク経由でスペクトルデータを取得することもできます。　
また、付属のSpectraViewソフトウェアでは、採取したスペクトルデータをモニタリング、解析を行い、Verity社独自のエンドポイントトレース生成など優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。

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型番・ブランド名 SD1024GH (Verity Instruments社)

用途／実績例
プラズマエッチング
MEMsエッチング
イオンミリング
反応性スパッタコントロール

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用途／実績例	用途／実績例プラズマエッチング MEMsエッチングイオンミリング反応性スパッタコントロール

取扱企業光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

アールエムテック株式会社

真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。