プラズマ機能を付加する製品を設計開発し、革新的なプロセス技術を提案します
『プラズマアシストソース』は、半導体製造プロセス用、
プラズマ応用製品です。
プラズマ機能付加により、反応性を促進することが可能。
また、既存プロセス技術にプラズマ機能を付加する製品を
設計開発し、革新的なプロセス技術を提案します。
【製品特長】
■プラズマクラッキングセル
・蒸気圧が高く、指向性が悪い材料のクラッキング蒸発源
・昇華蒸発させた材料を活性化させ、オリフィスを介して基板照射
■ALD用プラズマソース
・ALD装置用、酸素または窒素プラズマ源
・照射距離を50～100mm調整可能
・ON/OFF高速応答性とプラズマ安定性に優れる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報プラズマアシストソース
【その他製品特長】
■ラジカルソース
・酸素または窒素ラジカル生成源
・室内に高周波励起プラズマを発生し、ラジカルビームを照射
・酸化・窒化薄膜成長用ラジカル源
・反応効率が高いラジカルームを生成
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログプラズマアシストソース
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