【技術資料】真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理クォークテクノロジー

光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な産業分野への応用が可能！

真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理法には「安価」
「大面積処理が容易」などの特色があります。

その為、光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な
産業分野への応用が可能です。

当資料では、光表面処理法の効果を原子間力顕微鏡（AFM）を用いて
調べた結果をご紹介しております。

【掲載内容】
■はじめに
■実験
■結果

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基本情報【技術資料】真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理

【エキシマランプによる光表面処理法の特色】
■安価：比較的安価な放電管を使うため、高価なレーザが要らない
■簡便：大気中で処理できるため、面倒な真空排気装置が要らない
■大面積処理が容易：指向性の高いレーザではなく、大面積照射が容易な放電管を用いるため
■高速な処理が可能：光の波長が短く光子エネルギーが高く、光出力も数mW/cm2と高いため
■室温処理が可能：高温焼成が必要なセラミック薄膜形成を、室温程度で行える
■パターニング可能：密着型光マスクを使えば、マイクロメータ単位のパターニングが可能
■材料を選ばない：光の波長が短く光子エネルギーが高いため、大抵の化学結合を切断可能

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