株式会社クォークテクノロジー 【技術資料】湿式プロセスによるTiO2ゲル膜に対する光照射効果
- 最終更新日：2022-10-13 14:11:06.0
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薄膜形成プロセスの低温化に寄与！分解過程と結晶構造の変化について比較検討
耐熱温度の低いプラスチックなどの上に強固で緻密な膜を得るためには、
薄膜形成におけるプロセスの低温化が必要となります。
真空紫外（VUV）光を用いた光量子（フォトン）プロセスは、1光子あたりの
エネルギーが、ほとんどの物質における原子の結合エネルギーよりも大きく
なります。
また、照射による熱過程をともなわずに光子の作用のみで原子の結合を開裂
できるため、薄膜形成プロセスの低温化に寄与するものと期待できます。
本研究では、工業的に多用されているTiO2について、ゲル膜を熱処理した
ときおよび、エキシマランプによるVUV光照射と熱処理を併用したときの
分解過程と結晶構造の変化について比較検討しました。
【掲載内容】
■はじめに
■実験方法
■結果と考察
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○紫外線照射装置製造販売 ○UV-LED照射装置製造販売 ○半導体製造装置製造販売 ○その他、各種石英、セラミック商品取扱
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