株式会社クォークテクノロジー 【技術資料】真空紫外光を用いたポリマーの改質と照射雰囲気効果
- 最終更新日：2022-10-13 14:11:06.0
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真空紫外（VUV）光を用いた表面改質技術！改質効果の違いについて検討
高分子は軽量、フレキシブルなため、様々な用途で用いられており、近年
着目される手法に真空紫外（VUV）光を用いた表面改質技術があります。
VUV光は短波長で光子エネルギーが高いため、非熱過程で分子の結合を
切断することが可能。
物理的表面処理として代表的なプラズマ処理等と比べ、低コストかつ表面への
ダメージが少なく、表面処理ができるという特長を持ちます。
本研究では、真空紫外光をポリマーに照射し、照射に伴う表面の物理、
化学的変化と、照射中の雰囲気ガスによる改質効果の違いについて検討を
行いました。
【掲載内容】
■はじめに
■実験
■結果と考察
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○紫外線照射装置製造販売 ○UV-LED照射装置製造販売 ○半導体製造装置製造販売 ○その他、各種石英、セラミック商品取扱
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