株式会社ヒューブレイン ウエハ外観検査装置(ダイシング前)
- 最終更新日：2022-10-17 14:49:47.0
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『ウエハ外観検査装置(ダイシング前)』は、ウエハ工程で発生する
外観欠陥を高速かつ高精度で検査が可能な装置です。
検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(マクロ検査約10um分解能以上)
また、ビューワーソフトは、検査結果マップ表示機能・NGチップ拡大表示機能・
不良分類表示機能(不良項目/検査総数/OK/NG)がお使いいただけます。
【特長】
■多機能画像検査ソフトHu-Dra
■ウエハ工程で発生する外観欠陥の検査が可能
■オートフォーカス機能(オプション)
■全数のマーキングミスチェック機能(オプション)
■ID読込み及びマッピングデータ出力機能(オプション)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ウエハ外観検査装置(ダイシング前)
【仕様(例)】
■カメラ
・500万画素モノクロエリアカメラ(ミクロ検査)
・1,200万画素モノクロエリアカメラ(マクロ検査)
・2,500万画素モノクロエリアカメラ(アライメント)
■装置サイズ
・1,350W×1,350D×1,800H mm
・パトライト、HEPA除く
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【検査項目】 ■スクラッチ、変色、異物、パターンずれ、パターン欠損、レジスト残留、塗布不良、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログウエハ外観検査装置(ダイシング前)
取扱企業ウエハ外観検査装置(ダイシング前)
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・多機能画像処理エンジン Hu-Dra ・高速部品移載装置 ・バラ to トレイ外観検査装置 ・電子部品6面外観検査装置 ・トレイ外観検査装置 ・高機能卓上型外観検査装置 Hu-Cube ・通信／高周波部品、デバイスモジュール外観検査装置 ・自由角度外観検査装置 ・小型ガラスパネル外観検査装置 ・ウエハ外観検査装置（ダイシング前） ・ウエハチップ外観検査装置（ダイシング後） ・円柱型部品全面外観検査装置 ・ステレオカメラ方式 高速＋高分解能3D検査システム ・計数機 ・容器外面印刷検査システム ・容器内面検査システム ・シリンジ検査装置 ・Lib極板外観検査装置 ・太陽電池セル外観検査装置 ・ペレット・パウダ異物検査装置 ・切削工具検査装置 ・シート外観検査システム 等
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