ムサシノ電子株式会社 コロ式強制駆動揺動保持ユニット
- 最終更新日：2023-06-14 17:35:39.0
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研磨盤の面全体を均一に使用！「フリーラップ方式」と「ガイドリング方式」の2通りの研磨方法で作業が可能
『コロ式強制駆動揺動保持ユニット』は、eタイプの研磨装置
（MA-200e、MA-300e、MA-400e）に取り付けできる製品です。
試料ホルダーを強制的に回転させることで、研磨工程を定量的に
管理することが可能。
また、試料ホルダーが揺動されることにより研磨盤の面全体を均一に
使用し平坦度が維持され、サンプル加工面自体の平坦度も改善します。
【特長】
■eタイプの研磨装置（MA-200e、MA-300e、MA-400e）に取り付けできる
■研磨工程を定量的に管理することが可能
■サンプル加工面自体の平坦度も改善
■2通りの研磨方法
・研磨盤の平坦度に倣う「フリーラップ方式」
・平行精度の高い「ガイドリング方式」
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報コロ式強制駆動揺動保持ユニット
【SD-200の仕様】
■対応研磨装置：MA-200e
■最大試料ホルダー外径：Φ108mm
■最大揺動角度：13°
■モーター可動部：試料ホルダー強制回転用動輪部、アーム揺動部
■調整可能項目：試料ホルダー強制回転用動輪部回転数、アーム揺動部揺動幅
【SD-400の仕様】
■対応研磨装置：MA-300e/ MA-400e
■最大試料ホルダー外径：Φ165.2mm
■最大揺動角度：14.2°
■モーター可動部：試料ホルダー強制回転用動輪部、アーム揺動部
■調整可能項目：試料ホルダー強制回転用動輪部回転数、アーム揺動部揺動幅
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ■加工実績のある材料例 半導体材料(シリコン、ゲルマニウム、炭化ケイ素、珪化ストロンチウム、ガリウム砒素、インジウムガリウムヒ素、インジウムリン、酸化インジウムガリウム亜鉛、窒化ガリウム、酸化ガリウム、カドミウムテルル …など) 光学材料(石英ガラス、サファイア、蛍石レンズ、スピネル、リン酸塩ガラス、ホウ酸リチウム、アクリル樹脂(、CLBO、YiG、GGG …など) セラミックス材料(アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、フェライト …など) 金属材料(鉄鋼材料、ステンレス、銅、金、銀、白金、アルミニウム、チタン、モリブデン …など) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログコロ式強制駆動揺動保持ユニット
取扱企業コロ式強制駆動揺動保持ユニット
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【取扱製品】 ■精密研磨システム ■常温硬化包埋樹脂 ■研磨盤 ■ポリシングクロス ■研磨剤 ■精密ブレードソー ■ダイヤモンドワイヤーソー ■精密手動スクライバー ■電子顕微鏡周辺機器
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