コロ式強制駆動揺動保持ユニット

『コロ式強制駆動揺動保持ユニット』は、eタイプの研磨装置
（MA-200e、MA-300e、MA-400e）に取り付けできる製品です。

試料ホルダーを強制的に回転させることで、研磨工程を定量的に
管理することが可能。

また、試料ホルダーが揺動されることにより研磨盤の面全体を均一に
使用し平坦度が維持され、サンプル加工面自体の平坦度も改善します。

【特長】
■eタイプの研磨装置（MA-200e、MA-300e、MA-400e）に取り付けできる
■研磨工程を定量的に管理することが可能
■サンプル加工面自体の平坦度も改善
■2通りの研磨方法
　・研磨盤の平坦度に倣う「フリーラップ方式」
　・平行精度の高い「ガイドリング方式」

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）