アジアファインテック株式会社 FoPLP向け EFEM System
- 最終更新日：2022-12-18 16:29:23.0
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１．主要部品独自製作（Transfer Robot、EFEM、Load Port、Controller）
２．EFEM PCにて、主要部品をコントロール （SECS／GEM対応可能）
３．お客様の要求に応じ、柔軟にカスタマイズ可能
４．独自開発と製作により、Full line-up対応可能
５．特注のDual Hand Robotも対応可能
６．PLP向けWarpage Panel(（＞７ｍｍ）為のRobot Hand 構造
７．パネル各サイズに応じたアライナー採用も可能
８．センサーとモーターにより、ファインティーチング可能
９．量産向けEFEMの経験と実績多数
基本情報FoPLP向け EFEM System
１．基本構成：EFEM本体、Loader Port、Transfer Robot、Controller System
２．通信仕様：Ethernet （オプション：SECS／GEM）
３．ロードポート数：最大 4個
４．基板(標準)：５１０X５１５（Th 0.5～2.0ｍｍ）、
６００X６００（Th 0.2～5.0ｍｍ）
５．Warpage：５１０X５１５の場合±7ｍｍ、
６００X６００の場合±12ｍｍ
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※約4か月 |
| 用途／実績例 | FoPLP EFEM Sales Records （Korea) 1. 600X600 & 615X625(mm) ; 2P Type (48台)、 4P Type (1台) 2. 600X600 & 620X625(mm) ; 2P Type (13台)、 4P Type (1台) |
詳細情報FoPLP向け EFEM System
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FoPLP EFEM System Configuration
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FoPLP EFEM System Configuration
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Advantage
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Robot for FoPLP
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Robot for FoPLP
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Aligner for FoPLP
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Wafer向けEFEM System
取扱企業FoPLP向け EFEM System
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■電子・電気機器及び資材に関する販売、輸出入業及び貿易代理業 ■電子・電気機器のアフターサービス業及び賃貸業 ■関係会社の事業管理及び委託サービス業 ■前各号に関する一切の付帯事業
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