日本エアーテック株式会社 ファンフィルターユニット『EC-MAC』＜半導体製造装置向＞
- 最終更新日：2024-03-11 09:50:44.0
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EMC対応（CEマーキング品）です。海外仕様にも対応したファンフィルターユニット
当製品は、標準搭載のPTFEフィルターで半導体・液晶製造に適した
ファンフィルターユニットです。
AC100V～240V（単相）対応で、電源確保が容易。
運転信号および異常信号の出力が可能で、高効率DCブラシレスモーターの
採用により省電力化を実現しました。
【特長】
■高清浄度空間の創出
■フリー電源対応
■省電力
■信号出力対応
■RoHS指令対応品
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ファンフィルターユニット『EC-MAC』＜半導体製造装置向＞
【仕様（抜粋）】
＜MAC-II A-50EMC-PTFE＞
■集塵効率：0.1～0.2μm粒子（シリカ）にて99.9999％以上
■集塵要素（メインフィルター）：PTFEフィルター
■処理風量（m3/min）：約5
■平均吹出風速（m/s）：0.39
■電源：AC100～240V 1φ 50/60Hz ※駆動電源はDC24V
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|---|---|
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カタログファンフィルターユニット『EC-MAC』＜半導体製造装置向＞
取扱企業ファンフィルターユニット『EC-MAC』＜半導体製造装置向＞
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クリーンエアシステムの専門メーカーとして、独自の技術を背景にクリーンルーム、クリーンベンチ、バイオハザードシステム等の開発、設計製造、販売を行っております。 高信頼性が求められる半導体・液晶分野、再生医療分野などへの納入実績など高い技術力が私たちの強みです。 クリーンエアシステム分野において、国内トップシェアを誇っております。 日本国内に16拠点、海外に8拠点（中国・シンガポール・台湾・韓国・インド・ドイツ・ベトナム）の営業所や工場を持ち、お客様のニーズに迅速かつ的確に応えることのできる体制を整備しています。
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