2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えています！
当社が取り扱う『UVナノインプリントステッパー』をご紹介します。
大型樹脂モールドを使用したロール転写方式で、一括全面転写が可能。
また、高精度な転写圧力制御で、追加オプションとして加熱機構を
ご用意しております。
【特長】
■2～8インチウェハ対応
■デバイス製作に必要な高精度アライメント
■高精度な転写圧力制御
■加熱機構追加オプション
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報UVナノインプリントステッパー
【仕様】
■型式：ImpFlex-Essential Stepper
■転写方式：UVナノインプリント
■適応ワーク：φ2～8インチ
■モールド：石英モールド、PDMSモールド
■レジスト塗布：スピンコータ又はインクジェットによる前処理
■アライメント精度：1μm（アライメントマークサイズによる）
■外形寸法：1800（H）×760（W）×1160（D）
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログUVナノインプリントステッパー
取扱企業UVナノインプリントステッパー
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株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ 半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。 自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。
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