超高感度VUV,EUV,X線領域対応CCDカメラ LOTTE-i ケイエルブイ

【真空チャンバー内向け】超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ

真空チャンバ内で使用が可能なVUV、EUV、X線領域に対応した超高感度CCDカメラです。
高感度のCCDと冷却技術により超低ノイズで高いSN比を実現しているので、CMOSカメラでは測定できないような微弱な信号の検出が可能です。

ステンレス製のハウジングを採用しており、アウトガスの発生を極限まで抑えているため、UHV(Ultra High Vacuum)の環境でご使用いただけます。
greateyes社のCCDカメラは、VUV,EUV,X線領域に対して超高感度という圧倒的な特徴を持ちながら、カメラとしても高い性能を有しており、真空装置での使用に最適です。

基本情報超高感度VUV,EUV,X線領域対応CCDカメラ LOTTE-i

■製品モデル
greateyes社のALEXシリーズは、解像度に応じて、
　1k1k
　2k2k
　2k2k plus
　4k4k
の４つのランナップをご用意しています。

また、それぞれのラインナップでCCDのセンサータイプ
　-前面照射型CCD(FI)
　-背面照射型CCD(BI)
　-フリンジ抑制考慮ディープディプレッション型CCD(BI DD)
　-背面照射型CCD[高感度型](BI UV1)
を用途に応じてお選びいただけます。

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型番・ブランド名	Greateyes「LOTTE-i」
用途／実績例	EUVリソグラフィー X線トモグラフィフーリエ変換ホログラフィー位相コントラストX線イメージングＸ線回折タイコグラフィ― 斜入射小角X線散乱法(GISAXS)