WaferSense オートティーチングシステム（ATS2) JFE 商事エレクトロニクス

ATS2があればウェハの受け渡し位置における確実なロボット位置調整とウェハ位置確認を精度良く、短時間で行えます。

■カメラを使ったビジュアルな検査で、無駄なコストを掛けずにスピーディなトラブル対応が可能となります。
■ワイヤレス、ウエハ形状で充電式
■上下を見れる 2つのカメラを搭載
■簡単に使えるソフトウエア、リアルタイムに状況を確認可能

基本情報WaferSense オートティーチングシステム（ATS2)

・センサー厚み3.5mm, ウェハ直径200mmと300mm。第一世代ATSで通過出来なかった箇所にも実装する事が可能です。
・上下中央2ヶ所のカラーのカメラを持ち、様々な箇所のロボットティーチングが可能です。
・ウエハ位置を高精度に調整することにより、歩留まり向上とパーティクル発生を抑えることが期待できます。
・半導体プロセス装置のセットアップを再現性良く行えます。
・装置のダウンタイムを数時間レベルから数十分レベルに削減します。

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型番・ブランド名	ATS2・WaferSense
用途／実績例	半導体プロセス装置内のウェハの位置決め