YWafer Mapper RD8-WL ワイ・システムズ

ロボット搬送付き、多機能200x200mmウェーハマッピング装置RD8シリーズ

ウェーハマッピング装置RD8シリーズは最大測定面積200×200mmまでの様々なウェーハサイズや形状に対応した装置です。基本測定にはフォトルミネッセンス、エピタキシャル膜厚、ウェーハ反り、透過率・反射率、裏面照射蛍光体分析、ウェーハ板厚の測定が含まれており、お客様のご要望に合わせて個別対応もさせていただきます。

関連リンク - https://www.ysystems.jp/products/wafer-mapping

基本情報YWafer Mapper RD8-WL

【仕様】
○基本型式：YWAFER-RD8-WL26、YWAFER-RD8-WL48
○光学範囲および感度型式一覧：　200nm - 2200nm
○測定対応ウェーハサイズ：２，３，４，６，８インチその他（200x200mmまで）
○マッピング間隔：0.01mm～(0.02mm繰り返し精度)
○ロボット搬送：25枚カセットｘ２
○搬送対応ウェーハサイズ：2～6インチ又は4～8インチ

●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。

価格情報	お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください ※3～4ヶ月
型番・ブランド名	YWafer RD8-WL
用途／実績例	●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。

お問い合わせ

取扱企業YWafer Mapper RD8-WL

有限会社ワイ・システムズ

主力商品であるYWafer Mapper （ワイウェーハマッパー）はフォトルミネッセンス技術を駆使し、コンピュータ制御でLED ウェーハに光を当て、窒化物の厚さや発光色等の分布などを測定し、不具合品の選別が出来ます。この装置を使用するED メーカーにとっては、LED 素子になる前の段階で不具合品の選別が出来るため、製造歩留まりが向上し、コスト削減や合理化が図れるメリットがあります。また、測定対象を窒化物系に限定したことで、汎用装置に比べ低価格化を実現したこともLED メーカーの支持を得ています。現行主商品としては、GS4（2～4 インチ）とRD8（2～8 インチ）のラインナップがあります。今後とも光半導体関連装置の開発に取り組み、グローバルに“ ワイ・システムズ” のブランドを日本から発信していきます。