プレシテック・ジャパン株式会社 高速・高精度な厚み測定！プレシテック社 非接触センサ
- 最終更新日：2023-04-05 18:22:56.0
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プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した光学式センサの開発・製造をしています。
2022年末にフランスのEnovasense社を買収し、不透明体の厚みを測定できるレーザー加熱を利用したセンサもラインナップに加わりました。
高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ、コーティング、フィルム、塗装膜、防食コーティング、フィルムなどの検査に使用されています。幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。
半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。
Enovasense社のセンサは、航空関係の部品の塗膜、コーティング厚みでの実績もございます。
基本情報高速・高精度な厚み測定！プレシテック社 非接触センサ
【原理】
当社製品は測定原理で主に3種類のラインナップがあります。
■色収差共焦点
主に表面形状の計測に使用されていますが、透明体の厚み測定にも利用できます。分光干渉法より精度は劣りますが、安価な厚み測定をご希望の場合はこちらがお勧めです。
■分光干渉法
主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。
In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。
■レーザー加熱を利用した方法(Enovasense社製センサ）
レーザーダイオードで対象物を加熱。厚みに依って熱の伝搬スピードが異なるところを利用しています。独自のアルゴリズムで、対象物からの輻射熱を検知し、厚みに換算します。
【製品ラインナップ】
・シングルポイントセンサ
高精度タイプから、100万円以下の安価なタイプもあります。
・ラインセンサ
色収差共焦点で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。
・エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 下記の厚み測定用途にご使用ください。 ウエハ、ドープウエハ、コーティング、フィルム、塗装膜、防食コーティング、フィルム、バッテリーホイル、塗膜、ウェットコーティング、ドライコーティング、防錆用の合金コーティング、蒸着膜、アルミニウムアルマイト、 亜鉛メッキ、燃料電池バイポーラプレート上コーティング、 |
カタログ高速・高精度な厚み測定！プレシテック社 非接触センサ
取扱企業高速・高精度な厚み測定！プレシテック社 非接触センサ
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■レーザ加工関連 - 加工ヘッド - 溶接ヘッド - プロセスモニター ■光学センサ <距離・形状、厚み測定> ・色収差共焦点 CHRocodileシリーズ - シングルポイント 2S/2SE：高精度 2HS：ハイパワー - デュアルポイント 2DPS - 廉価版シングルポイント C：プローブと一体 Mini：プローブと別体 - ラインセンサ CLS：低クロストークノイズ CLS2.0：長いライン長・広測定範囲 CLS2 PRO：長いライン長・角度許容度高 ・分光干渉CHRocodileシリーズ - シングルポイント 2IT：高精度 2DW：ドープウエハ対応 2RW：粗ウエハ対応 2SX：加工モニタリング用広測定範囲 ・分光干渉センサ用エリアスキャナ Flying Spot Scanner：Φ40～310mm ＊CHRocodileシリーズと組合わせ <厚み測定> レーザーフォトサーマルセンサ Enovasenseセンサ：不透明体の非接触測定
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