超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。
◆コストダウンに貢献
・長期のリサイクル使用が可能
・超高純度で耐食性及び耐熱性に優れている
・長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減につながる
【特徴】
・高純度（純度はppmレベル）
・高耐酸化性（長期間酸化雰囲気で使用可能）
・高耐食性（Wet洗浄のみで堆積膜や表面汚染を除去可能）
・低拡散係数（表面汚染のSiC内部拡散は困難）
・デポ膜がはがれにくく、パーティクルの低減に貢献
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基本情報SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」
超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。
SiCダミーウェハを長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減により、コストダウンに貢献いたします。
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【主な用途】 ・LP-CVD工程用ダミーウェハ ・高温拡散工程用ダミーウェハ ・CMP工程用ダミーウェハ（シーズニング用途） |
取扱企業SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」
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【関連製造部門】 ●(株)ワコム製作所 石英ガラス製品（ASM Epsilion石英部品、各種加工品）、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ●(株)トムコ ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ●(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置、フォトマスク洗浄装置 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター＆クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連
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